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Tetrafluormetano
Gas plasmágeno de uso muy frecuente, especialmente en procesos de mordentado. El tetrafluormetano (CF4, también denominado Freon 14) bajo condiciones normales es un gas completamente inerte, pero en el plasma genera átomos libres de Fluor y radicals de CF2 y CF3. Estos tiene una acción de mordenatdo muy fuertes, por ej. en Óxido de Silicio. Mezclas de CF4 y O2 mordentan 5 veces mas rápidamente que oxígeno solo.
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