diener electronic : Sputtering (Pulverización de Iones) : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	Sputtering (Pulverización de Iones) Denominación para la limpieza con plasma, durante la cual iones del plasma, de alta energía cinética impactan en la superficie del sustrato y con ello erosionan átomos de la superficie. En la limpieza por pulverización típica se usa muy a menudo el argon como gas plasmágeno. Este tipo de limpieza por pulevrización de iones tambien se le da el nombre de Microarenado (vea alli). Por otra parte la pulvrización de iones se usa en la aplicación de revestimientos delgados como método para la generación de fases gaseosas de composiciones definidas, lo que se logra por bombardeo de una probeta del material deseado (denominado como "Target").

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