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SIMS
Secondary Ion Mass Spectometry, es decir Spectrografía de masas de iones secundarios es un proceso muy sensitivo para el analísis de recubrimientos delgados. La superficie es bombardeada con iones primarios de alta energía lo cual origina la emisión de iones secundarios del material del recubrimiento, ademas de otras partículas sueltas. Éstos iones se detectan por medio de spectrografía de masas.
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