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Silicio
Símbolo Si, semimetal con existencia natural muy frecuente, sobre el cual se basa toda la tecnología de la micro-electrónica. La fabricación de Micro-Circuitos (IC's) se realiza por medio de aplicaciones de recubrimientos y procesos de mordentado por medio de plasma. Los gases plasmágenos apropiados para esto procesos de mordentado son los halógenos y gases con contenido de halógenos, especialmente gases con fluor.
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