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 Hexafluoruro de Azufre 
Bajo condiciones normales el Hexafluoruro de Azufre (SF6) es un gas absolutamente inerte, el cual sin embargo como gas plasmágeno genera átomos de fluor de alta reacción y radicales de fluoro de azufre y es por ello uno de los gases plasmágenos mas agresivos. (Vea también Tetrafluormetano).

   
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