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Principio del Proceso de Plasma
Por medio de una bomba de vacío se evacúa una cámara de trabajo, a una presión de aprox. 0,1 mbar se introduce el gas plasmágeno, el cual se enciende (ioniza) de manera al que el sustrato está en contacto con el plasma ionizado. El gas plasmágeno es alimentado en forma contínua y a la vez el gas consumido se extrae. Despues del tratamiento que usualmente dura entre 1 minuto y 30 minutos, se ventila la cámara y se extraen las piezas tratadas.
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