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diener electronic : Ion : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam
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 Ion 
Elektrisch geladenes Atom oder Molekül, dem ein oder mehrere Elektronen fehlen (positiv geladenes Kation) oder das ein oder mehrere Elektronen angelagert hat (negativ geladenes Anion). Kationen werden i. Allg. von Metallen gebildet, Anionen i. Allg. von Nichtmetallen. Im Plasma werden durch die energiereichen Stöße auch Nichtmetall-Atome bzw. -Moleküle positiv ionisiert (z. B. Argon, Wasserstoff, Sauerstoff, etc.).

   
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