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Plasma-Mordentado
Un proceso de mordentado en seco, en el cual átomos o iones reactivos (por ej. Oxígeno, cloro, fluor) se generan en una descarga de gas (casi siempre operada por alta frecuencia). Para el mordentado con iones se aprovecha la aptitud del proceso de poder acelerar los iones en forma unidireccional entre el plasma y el sustrato generando ranuras profundas con paredes muy empinadas.
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