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diener electronic : Ionisation : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam
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 Ionisation 
Prozeß, bei dem ein Atom, Molekül oder Ion ein Elektron verliert. Ionisation kann durch Stoß mit einem energiereichen Elektron oder Photon erfolgen. Auch durch Kontakt mit angeregten Atomen oder mit einer heißen Oberfläche kann es zur Ionisation kommen.

   
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