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GHz-Plasmaanlage
Plasmaanlagen, die mit Plasmageneratoren im Frequenzbereich von einigen Gigahertz betrieben werden (meist 2,45 GHz). Dies entspricht dem Frequenzband von Mikrowellen, so dass eine solche Anlage auch als MW-Plasmaanlage bezeichnet wird, zur Unterscheidung gegenüber RF-, und LF-Anlagen bzw. -Generatoren, die mit Frequenzen im MHz- bzw. kHz-Bereich arbeiten.(SH)
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