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Generator
In der Plasma-Technik bezeichnet man die Einheit als Generator, die die Spannung (meist Wechselspannung) zur Anregung des Plasmas zur Verfügung stellt. Anhand der Frequenz der erzeugten Wechselspannung unterscheidet man LF-Generatoren (40kHz), RF-Generatoren (13,56/27,12 MHz) und Mikrowellen-Generatoren (2,45 GHz).
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