diener electronic : Glimmlicht : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	Glimmlicht Ursprünglich der kathodennahe Teil einer Niederdruckgasentladung. Wegen der ähnlichen Wirkungsmechanismen werden auch die Teile einer Hochfrequenzentladung als Glimmlicht bezeichnet, die durch energetische Elektronen aus dem Randbereich fremderzeugt werden.

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