diener electronic : Gas Plasma : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	Gas Plasma Wird ein Gas stark erhitzt, so können Temperaturen erreicht werden, bei denen die Atome so viel Energie haben, dass sie bei Stößen mit anderen Atomen ihre Elektronen verlieren. Es entsteht also ein Gas, in dem sich negativ geladene Elektronen und positiv geladene Atomkerne unabhängig voneinander bewegen. Solch ein Gas aus geladenen Teilchen heißt Plasma. Ein Gasplasma wird in der Praxis durch das Zünden einer Gasentladung erzeugt, z.B. durch hochfrequente elektromagnetische Strahlung mit Hilfe von HF-Generatoren (HF-Plasma). Die Gasart bestimmt die Art des Plasmas: mit H2, O2, N2, Ar, NH3 generiert man ein Wasserstoffplasma, Sauerstoffplasma, Stickstoffplasma usw. Es sind auch Gasplasmen mit Gasmischungen möglich (z.B. N2/H2). (SH)

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