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Micro-ondas
Micro-ondas (frecuencia 2,45 GHz) se usan para excitar plasmas de baja presión. Las ventajas están en el precio bajo y la alta eficiencia en procesos de mordentado y de plasma-polimerización. Las desventajas son las necesidades de cableados complicados, el uso de altos voltajes, la limitación a recipientes (cámaras) de vidrio y la mala homgeneidad de los resultados.
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