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Folienbehandlung
Kunststoffolien können im Plasma behandelt (beschichtet oder aktiviert) werden. Da Anlagen, bei denen die Folie von außen durch den Hochvakuum-Bereich läuft, nicht praktikabel sind, handelt es sich bei Folienbehandlungs-Anlagen meist um Mehrkammer-Systeme, bei denen sich die Auf- und Abwicklung im Vakuum und der Behandlungs-Raum im Hochvakuum befindet.
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