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Downstream-Reaktor
Plasma-Reaktor, meist für Reinigungs- oder Ätzprozesse, bei dem Plasma und Substrat räumlich getrennt sind. Die im Plasma gebildeten Radikale und Ionen werden durch eine schnelle Strömung des Prozessgases über die zu behandelnde Oberfläche geführt, die sich außerhalb des Bereichs der Gasentladung befindet.
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