diener electronic : AFM : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam


	AFM Abkürzung für Atomic Force Microscopy, also Atom-Kraft-Mikroskopie, Methode zur Untersuchung von Oberflächen, wobei die Oberfläche von einer extrem feinen Nadel an einem dünnen Hebelarm abgetastet wird. Durch Auswertung der Kräfte zwischen Nadel und Oberfläche lassen sich sehr genaue Abbildungen der Oberflächenstruktur herstellen.

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