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Reactor de Proceso (Downstream Reactor)
Reactor de Plasma, en su mayoría para procesos de limpieza o mordentado en los cuales el sustrato y el plasma están separados fisicamente. Los radicales e iones creados en el plasma se transportan por el flujo rápido del gas de proceso sobre la superficie a tratar, la cual se encuentra fuera del área de descarga del gas.
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