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diener electronic : Aktive Spezies : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam
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 Aktive Spezies 
Die Wechselwirkung des Plasmas mit Material, das mit diesem in Kontakt steht, beruht auf einer Vielzahl aktiver Spezies wie Ionen, freie Radikale, Elektronen, Molekülfragmente und Photonen.

   
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