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diener electronic : Aluminiumoxid : Plasma Oberflächentechnologie, Plasmaanlagen, Plasmabeam
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 Aluminiumoxid 
Al2O3, hartes Oxid, das in verschiedenen Modifikationen auftritt, von denen Korund die höchste Härte besitzt. Auf Aluminium-Oberflächen bildet sich in Kontakt mit Luftsauerstoff spontan eine dünne transparente Al2O3-Schicht, die das Aluminium vor weiterer Oxidation schützt. Durch Anodisieren wird diese Oxidschicht und damit ihre Schutzwirkung künstlich verstärkt. Al2O3-Oberflächen lassen sich im Plasma mittels Ar-Beschuss oder mittels halogenhaltiger Gase ätzen.

   
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