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 Argon (Ar) 
Edelgas mit großer natürlicher Häufigkeit (fast 1% der Erdatmosphäre), das aufgrund seiner völligen chemischen Inertheit häufig als Schutzgas eingesetzt wird. In der Plasma-Reinigung und Plasma-Aktivierung häufig verwendetes Prozessgas, das mit dem Substrat keine eigentliche chemische Reaktion eingehen kann, sich aber zum Abtragen von Verunreinigungen (->Mikrosandstrahleffekt) und zur Erzeugung von Radikalstellen auf organischen Polymeren eignet.

   
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